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安全实用真空高温烘箱
简要描述:

北京中科博达仪器科技有限公司是国内最大最专业的安全实用真空高温烘箱生产厂家,北京中科博达仪器科技有限公司提供的安全实用真空高温烘箱不仅具有国内外领先的技术水平,更有良好的售后服务和优质的解决方案,欢迎来电洽谈合作!

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安全实用真空高温烘箱

真空高温烘箱的必要性:
在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

真空高温烘箱一般工作流程:
首先确定工作温度。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充人氮气,充到达到某低真空度后,冉次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图:首先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚,消除氢键作,从而极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。
尾气排放等:多余的HMDS蒸汽(尾气)将由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

真空高温烘箱特点:
美观耐用性:内采用SUS不锈钢,外采用A3钢板,喷塑处理;       
使用安全性:加厚的保温层,良好的保温性能,隔热、节能效果显著;     
控制稳定性:智能微电脑控制仪表,数字显示,控温精度高、准确;      
高性能:巧妙的风道设计,温度均匀度高;    
实用性:强力门扣加特制的密封材质,确保箱内密封效果优良;     
可靠性:完善的安全保护装置,适合长期连续运行。

真空高温烘箱箱体结构:
1)本设备由室体、真空系统、保护系统、电气控制系统等组成
2)箱体采用先进的机械设备制作、工艺先进、线条流畅,美观大方
3)内箱材质为3mm厚优质不锈钢拉丝板经抛光处理,加强胫进行加固。外箱材质为1.2mm厚优质冷轧钢板经表面特殊处理后静电喷涂而成。
4)门与门框之间采用高性能密封材料及独特的硅橡胶密封结构,密封、抗老化性好。
5)箱内设有不锈钢活动样品架,可拆卸易清洗。

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